Description
Interferometer cahaya putih untuk pengukuran jarak absolut dengan akurasi nanometer
Interferometer cahaya putih IMS5400-DS yang baru membuka perspektif baru dalam pengukuran jarak industri. Pengontrol memiliki fitur evaluasi cerdas dan memungkinkan pengukuran absolut dengan akurasi nanometer pada jarak offset yang relatif besar. Dibandingkan dengan sistem optik pengukur absolut lainnya, IMS5400-DS menawarkan kombinasi akurasi, rentang pengukuran, dan jarak offset yang tak tertandingi.
Karakteristik
- Pengukuran jarak absolut yang presisi dalam nanometer, cocok untuk profil langkah
- Pengukuran jarak multi-puncak objek transparan
- Sensor yang ringkas dan kuat dengan jarak offset yang besar
- Laju pengukuran hingga 6 kHz untuk pengukuran kecepatan tinggi
- Pengontrol yang kuat dengan pendinginan pasif
- Konfigurasi yang mudah melalui antarmuka web
- Sensor ringkas juga dengan jalur sinar 90°
Pengukuran jarak absolut dengan resolusi nanometer
IMS5400-DS digunakan untuk pengukuran perpindahan dan jarak dengan presisi tinggi. Tidak seperti interferometer konvensional, IMS5400-DS juga memungkinkan pengukuran profil langkah yang stabil. Berkat pengukuran absolut, pemindaian langkah dilakukan dengan stabilitas dan presisi sinyal yang tinggi. Ketika mengukur pada objek yang bergerak, perbedaan ketinggian tumit, langkah dan cekungan dapat dideteksi dengan andal.
Pengukuran jarak multi-puncak
Dengan pengukuran jarak multi-puncak pada objek transparan, hingga 14 nilai jarak dievaluasi secara bersamaan. Contohnya, jarak antara kaca dan pelat pembawa dapat ditentukan. Selain itu, pengontrol dapat menghitung ketebalan kaca berdasarkan nilai jarak.
Ideal untuk lingkungan industri
Sensor yang kuat dan pengontrol dalam wadah logam membuat sistem ini cocok untuk diintegrasikan ke dalam lini produksi. Pengontrol dapat dipasang di kabinet kontrol melalui pemasangan rel DIN dan memberikan hasil pengukuran yang sangat stabil karena kompensasi suhu aktif dan pendinginan pasif. Sensor ringkas ini sangat hemat tempat dan juga dapat diintegrasikan di ruang terbatas. Kabel serat optik yang sangat fleksibel tersedia dengan panjang hingga 10 m dan memungkinkan pemisahan spasial antara sensor dan pengontrol. Komisioning dan parameterisasi dapat dilakukan dengan mudah melalui antarmuka web dan tidak memerlukan instalasi perangkat lunak apa pun.
Titik cahaya kecil untuk detail dan struktur terkecil
Sensor menghasilkan titik cahaya kecil pada seluruh rentang pengukuran. Diameter titik cahaya hanya 10 µm dan memungkinkan pendeteksian detail kecil, seperti struktur pada semikonduktor dan komponen elektronik yang diminiaturisasi.
Mengukur banyak permukaan
Metode pengukuran interferometrik memungkinkan pengukuran pada berbagai permukaan. Hal ini memungkinkan pengukuran jarak dengan presisi tinggi pada logam, plastik dan kaca pemantul.
BARU: Sensor juga dengan jalur sinar 90°
Karena ukurannya yang ringkas, sensor ini juga dapat diintegrasikan ke dalam ruang terbatas. Khususnya, model dengan jalur sinar 90° memerlukan ruang pemasangan yang jauh lebih sedikit.
Banyak model untuk tugas pengukuran yang menuntut
| Model | Measuring range / Start of measuring range |
Linearity | Number of measurable layers | Fields of application |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm /approx. 0,5 mm | ± 50nm | – | High-precision distance measurement in a clean room environment and vacuum, e.g. measurement on coated wafers. Non-magnetic titanium UHV variant enables use in strong magnetic fields, e.g. in medical technology (nuclear spinning or electron beam microscope) |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2.1 mm / approx. 19 mm | ±50 nm | – | Industrial distance measurements e.g. in precision manufacturing |
| IMS5400-DS19/VAC | Precise positioning tasks and distance measurements in clean room environments and vacuum e.g. in display production for mask positioning | |||
| IMS5400MP-DS19 | Distance measurement: 2.1 mm / approx. 19 mm Thickness measurement: 0.01 … 1.3 mm (for BK7, n=1.5) / approx. 19 mm |
±50 nm for the first distance ±150 nm for each further distance |
Up to 13 layers | Industrial distance and thickness measurement e.g. in flat glass production |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Precise distance and thickness measurement in clean room environments and vacuum e.g. in display production for distance and gap measurement |
Contact Us:
– Telp & WhatsApp 0812-1248-2471
– Email alfin@testindo.com
Reviews
There are no reviews yet.