Description
Interferometer cahaya putih untuk pengukuran jarak absolut dengan resolusi subnanometer
Interferometer cahaya putih baru IMS5600-DS digunakan untuk pengukuran jarak dengan presisi tertinggi. Pengontrol menawarkan kalibrasi khusus dengan evaluasi cerdas dan memungkinkan pengukuran absolut dengan resolusi subnanometer. Interferometer ini digunakan untuk tugas pengukuran dengan persyaratan akurasi tertinggi, misalnya, dalam produksi elektronik dan semikonduktor.
Karakteristik
- Pengukuran jarak dengan presisi subnanometer
- Terbaik di Kelasnya: Resolusi 30 pikometer
- Pengukuran absolut, cocok untuk profil langkah
- Sensor yang ringkas dan kuat dengan jarak offset yang besar
- Laju pengukuran hingga 6 kHz untuk pengukuran kecepatan tinggi
- Konfigurasi yang mudah melalui antarmuka web
- Sensor dan kabel yang cocok untuk ruang hampa udara
- Sensor ringkas juga dengan jalur sinar 90°
Pengukuran jarak absolut dengan
rentang pengukuran dan jarak offset yang besar
IMS5600-DS digunakan untuk pengukuran perpindahan dan jarak dengan presisi tinggi. Sistem ini memberikan nilai pengukuran absolut dan oleh karena itu juga dapat digunakan untuk pengukuran jarak profil anak tangga. Berkat pengukuran absolut, langkah diambil sampelnya dengan stabilitas sinyal yang tinggi. Ketika mengukur pada objek bergerak, perbedaan ketinggian tumit, langkah, dan cekungan dapat dideteksi dengan andal. Sistem pengukuran menawarkan resolusi sub-nanometer dengan jarak offset yang besar dalam kaitannya dengan rentang pengukuran.
Pengukuran jarak multi-puncak
Dengan pengukuran jarak multi-puncak pada objek transparan, hingga 14 nilai jarak dievaluasi secara bersamaan. Contohnya, jarak antara kaca dan pelat pembawa dapat ditentukan. Pengontrol kemudian dapat menghitung ketebalan kaca dari nilai jarak.
Dirancang untuk pengukuran jarak resolusi tinggi dalam ruang hampa udara
Interferometer IMS5600-DS dapat digunakan untuk tugas pengukuran di lingkungan vakum dan ruang bersih di mana interferometer mencapai resolusi dalam rentang subnanometer. Untuk aplikasi vakum, Micro-Epsilon menawarkan sensor, kabel, dan aksesori feed-through khusus. Sensor dan kabel ini bebas partikel hingga tingkat tinggi dan dapat digunakan dari ruang bersih hingga UHV.
Pengukuran jarak yang stabil dengan presisi tertinggi
Pengontrol dapat dipasang di kabinet kontrol melalui pemasangan DIN rail dan memberikan hasil pengukuran yang sangat stabil berkat kompensasi suhu aktif dan pendinginan pasif. Sensor ringkas ini sangat hemat tempat dan memiliki kabel serat optik yang sangat fleksibel. Panjang kabel hingga 10 m memungkinkan pemisahan spasial antara sensor dan pengontrol. Sensor dapat disejajarkan dengan mudah dan cepat karena adanya laser pilot yang terintegrasi. Komisioning dan parameterisasi dilakukan dengan mudah melalui antarmuka web dan tidak memerlukan instalasi perangkat lunak apa pun.
Pengukuran pada banyak permukaan
Metode pengukuran interferometri memungkinkan pengukuran pada berbagai permukaan. Hal ini memungkinkan pengukuran jarak presisi tinggi pada logam, plastik, dan kaca pemantul.
BARU: Sensor juga dengan jalur sinar 90°
Karena ukurannya yang ringkas, sensor ini juga dapat diintegrasikan ke dalam ruang terbatas. Khususnya, model dengan jalur sinar 90° memerlukan ruang pemasangan yang jauh lebih sedikit.
Banyak model untuk tugas pengukuran yang menuntut
| Model | Measuring range / Start of measuring range |
Linearity | Number of measurable layers | Fields of application |
|---|---|---|---|---|
| IMS5600-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm /approx. 0,5 mm | ±10 nm | – | High-precision distance measurement in a clean room environment and vacuum, e.g. measurement on coated wafers. Non-magnetic titanium UHV variant enables use in strong magnetic fields, e.g. in medical technology (nuclear spinning or electron beam microscope) |
| IMS5600-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5600-DS19 | 2.1 mm / approx. 19 mm | ±10 nm | – | High precision distance measurements in industrial processes e.g. in precision manufacturing |
| IMS5600-DS19/VAC | Precise positioning tasks and distance measurements in clean room environments and vacuum e.g. in display production for mask positioning | |||
| IMS5600MP-DS19 | Distance measurement: 2.1 mm / approx. 19 mm Thickness measurement: 0.01 … 1.3 mm (for BK7, n=1.5) / approx. 19 mm |
±10 nm for the first distance ±100 nm for each further distance |
Up to 13 layers | High-precision distance and thickness measurements in industrial processes e.g. in semiconductor production for determining layer thicknesses on wafers or in LED manufacturing |
| IMS5600MP-DS19/VAC | High-precision distance and thickness measurements in clean room environments and vacuum e.g. in semiconductor production for measuring position and gap dimensions on masks and wafers |
Contact Us:
– Telp & WhatsApp 0812-1248-2471
– Email alfin@testindo.com
Reviews
There are no reviews yet.