Description
Interferometer cahaya putih untuk pemeriksaan wafer presisi tinggi
IMS5420 adalah interferometer cahaya putih berkinerja tinggi untuk pengukuran ketebalan non-kontak wafer silikon monokristalin. Pengontrol memiliki dioda superluminescent pita lebar (SLED) dengan rentang panjang gelombang 1.100 nm. Hal ini memungkinkan pengukuran ketebalan wafer SI yang tidak didoping, didoping, dan sangat didoping hanya dengan satu sistem pengukuran. IMS5420 mencapai stabilitas sinyal kurang dari 1 nm. Ketebalan dapat diukur dari jarak 24 mm
Karakteristik
- Pengukuran ketebalan yang akurat hingga nanometer untuk wafer yang tidak didoping, didoping, dan sangat didoping
- Multi-puncak: akuisisi hingga 5 lapisan dengan ketebalan SI 0,05 hingga 1,05 mm
- Resolusi tinggi dalam sumbu-z 1 nm
- Laju pengukuran hingga 6 kHz untuk pengukuran cepat
- Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet / IP
- Parameterisasi yang mudah melalui antarmuka web
Pengukuran ketebalan wafer yang tepat 
Karena transparansi optik wafer silikon dalam rentang panjang gelombang 1.100 nm, interferometer IMS5420 dapat secara tepat mendeteksi ketebalannya. Dalam rentang panjang gelombang ini, baik silikon yang tidak didoping maupun wafer yang didoping memberikan transparansi yang memadai. Oleh karena itu, ketebalan wafer hingga 1,05 mm dapat dideteksi. Ketebalan celah udara yang terukur bahkan hingga 4 mm.
Interferometer IMS5420 memungkinkan pengukuran ketebalan wafer silikon yang tidak didoping, didoping, dan sangat didoping dan dengan demikian menawarkan berbagai aplikasi. Sistem pengukuran ketebalan wafer ini sangat ideal untuk pengukuran wafer silikon monokristalin dengan ketebalan geometris 500 hingga 1050 µm dan doping hingga 6 m Ω cm. Bahkan dengan wafer yang sangat didoping, ketebalan hingga 0,8 mm dapat diukur. Ini dihasilkan dari penurunan transparansi dengan meningkatnya doping.
Pengukuran ketebalan yang tepat selama lapping
Dalam fabrikasi wafer, ingot silikon kristal dipotong menjadi irisan tipis sekitar 1 mm. Cakram kemudian digiling dan dilapis untuk mendapatkan ketebalan dan permukaan akhir yang diinginkan. Untuk mencapai stabilitas proses yang tinggi, interferometer digunakan untuk pengukuran ketebalan sebaris pada mesin lapping dan gerinda. Karena desainnya yang ringkas, sensor ini juga dapat diintegrasikan di ruang instalasi yang terbatas. Nilai ketebalan digunakan untuk kontrol mesin serta untuk kontrol kualitas wafer.
| Model | Measuring range / Start of measuring range |
Linearity | Number of measurable layers | Fields of application |
|---|---|---|---|---|
| IMS5420-TH24 | 0.05 … 1.05 mm (for silicon, n=3.82) 0.2 … 4 mm (for air, n=1) / approx. 24 mm with a working range of approx. 6 mm |
< ±100 nm | 1 layer | Inline thickness measurement, e.g. after grinding or polishing. |
| IMS5420MP-TH24 | < ±100 nm for one layer < ±200 nm for additional layers |
up to 5 layers | Inline thickness measurement, e.g. for quality control of the coating thickness after coating | |
| IMS5420/IP67-TH24 | < ±100 nm | 1 layer | Industrial inline thickness measurement during lapping and grinding |
Contact Us:
– Telp & WhatsApp 0812-1248-2471
– Email alfin@testindo.com
Reviews
There are no reviews yet.